MicroCT 바 패턴 팬텀

QRM-MicroCT-바패턴-팬텀

막대 패턴 칩은 고해상도 X선 영상 모드에서 공간 분해능을 평가하는 간접 방법에 대한 좋은 대안을 제공합니다. 팬텀은 두 개의 실리콘 칩으로 구성되어 있으며, 하나는 평면으로, 다른 하나는 수직(축)으로 방향이 지정되어 있습니다. 팬텀은 전체 수지 실린더에 칩을 배치하거나 중공(공기 충전) 실린더의 얇은 지지대에 고정하여 사용할 수 있습니다(둘 다 높은 기계적 정확도로 가공).

5 x 5 mm² 칩에는 직경 5 ~ 150 µm 선/포인트 두께의 막대(트렌치)와 포인트 패턴이 포함되어 있습니다.

구조물의 깊이는 80~120µm이다.

칩 상의 다양한 구조는 칩 위에 배열되어 있으므로, 한 번의 측정으로 이미지/칩의 중심과 주변부의 공간 분해능을 모두 평가할 수 있습니다.